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台积电持续在中国台湾地区投资先进设备制程，台科技部长杨弘敦6日证实，台积电预计将耗资5,000亿元在南科高雄园区筹设3纳米、5纳米制程，新厂将有望在2020年动工、2022年量产。 每4年一次的台湾科学技术会议6日登场，杨弘敦在不会中透漏，台积电已明确提出3至5纳米制程的先进设备制程投资蓝图，中国台湾地区科技部指出南科高雄园区最合适，台积电该计划须要50至80公顷土地，规划将在2020年动工、2022年量产，年营业额估算大约2,000亿元，可建构大约1万个就业机会，中国台湾地区行政院已将此案划入列管计划项目。 为了对付三星、英特尔等大厂，台积电于是以加快先进设备制程扩厂，台积电也证实，已与政府讲过将来投资市场需求，细节于是以评估中。
另外，台积电联合CEO刘德音也曾在9月底透漏，除了10纳米制程预计在年底量产，5纳米制程也于是以研发中，而更加先进设备的3纳米制程，也早已构成300至400人团队研发中。
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